纳米刀具涂层材料偶联剂

纳米刀具涂层材料

随着纳米技术的发展和涂镀技术的进步，纳米刀具涂层材料也引起的广大研究者的关注。纳米涂层主要有两种：纳米多层结构和纳米复合结构。纳米多层涂层一般由高层数的同种结构材料、化学键和原子半径及点阵常相近的各单层材料组成，可能得到与组成它的各单层涂层的性能差异显著的全新涂层。这是一种人为可控的一维周期结构，交替沉积单层涂层不超过5～15nm。Chu和Barnett认为，纳米多层涂层的高硬度主要是由于层内或层间位错运动困难所致。当涂层非常薄时，两层间的剪切模量不同，如果层间位错能量有较大差异，则层间位错运动困难，即位错运动的能量决定了超点阵涂层的硬度。纳米多层涂层的结构主要有三种方式：(1)金属氮化物纳米层与金属AlN纳米层交替涂覆；(2)金属AlN纳米层与金属AlCN纳米层交替涂覆；(3)金属氮化物纳米层与金属AlN纳米层及金属AlCN纳米层交替涂覆。涂层过程中均可添加其他金属元素（如钛、铌、铪、钒、钽、锆或铬），以进一步提高涂层的硬度、化学稳定性、韧性和抗氧化性能。研究表明，对于TiN/AlN纳米多涂层，当层厚为2～4nm时，AlN呈现立方NaCl结构，涂层显微硬度达到30～40GPa，其抗氧化温度达到1000℃，采用等离子增强化学气相沉积制得的AlN/TiAlN纳米多层膜具有高硬度、高附着力和高耐磨性。

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